Досліджено дизайн та виготовлення керамічного ємнісного датчика тиску з використанням технології LTCC. Мультишарова технологія дозволяє налаштовувати товщину гнучкої мембрани залежно від діапазону тиску. У нижній частині підложки розташована електроніка для сигнальної обробки. Інтегрована схема, яка підібрана для цієї аплікації, вимірює ємність та перетворює її в пропорційну напругу для тиску. У роботі розглянуто технологічні деталі використання технології LTCC в таких пристроях, як планарність мембрани, її товщина, проміжок між електродами, електроди та охоронні кільця. Показані результати досліджень при врахуванні цих аспектів. LTCC технологія дозволяє інтегрувати датчик з електронікою для сигнальної обробки та забезпечує компактну упаковку. Перші вимірювання ємності проводилися при 25ºC з використанням повітря як рідини для тиску. Дослідження показали значні відхилення ємності, що можуть бути пов'язані зі зменшенням відстані між електродами. Вихідні значення отримали після калібрування датчика, що дав ратіометричний вихідну напругу пропорційну номінальному вхідному джерелу напруги 5 В. Результати досліджень покажуть покращення плоскості поверхні, стабільність сигналу та поведінку датчика при різних робочих температурах.